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干式螺桿真空泵主要工作原理是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的出現(xiàn)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足,我們都稱之為油封式真空泵的升級版。但再好的泵也有其不足的地方,下面我們就列舉幾個比較常見的優(yōu)缺點吧。干式...
2024-05-21 39干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,其制造的難度集中在兩螺桿的型線設(shè)計和加工過程中,螺桿真空泵的內(nèi)核部分--螺桿轉(zhuǎn)子,是三維立體結(jié)構(gòu),要求在螺桿研發(fā)設(shè)計中采用三維曲面數(shù)學(xué)模型進(jìn)行設(shè)計和求解,通過三維數(shù)學(xué)模型形成的實體加工需要在五坐標(biāo)聯(lián)動...
2024-05-21 27導(dǎo)語:干式螺旋真空泵有著壓縮無油潤滑、高效的抽氣速度和抽氣效率及低頻率的震動和噪音水平這三大特點,使得干式螺旋真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛的應(yīng)用。但還主要體現(xiàn)在以下這幾個方面:1. 半導(dǎo)體材料制備:干式螺桿真空泵在半導(dǎo)體材料的真空干燥、燒結(jié)、氧化等...
2024-05-21 45隨著半導(dǎo)體制造工藝變得越來越復(fù)雜,對真空技術(shù)的需求也在不斷增長。越來越多的人意識到這個行業(yè)的發(fā)展趨勢,也逐步地投入到開發(fā)新的真空技術(shù),以滿足這些需求,并為半導(dǎo)體行業(yè)提供更高水平的性能、可靠性和效率。應(yīng)用:(1) 晶圓清洗:在制造過程中,晶圓需要...
2024-05-21 46隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代電子行業(yè)的核心,對高精度、高效能的生產(chǎn)工藝提出了更高的要求。在半導(dǎo)體制造中,真空技術(shù)及其核心組成部分——真空泵,扮演著至關(guān)重要的角色。下面我們就來深入了解一下真空泵在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用。1. 清潔...
2024-05-21 391、機(jī)械工業(yè)焊接、熱處理、模造、測漏、鍍膜、燒結(jié)、材料處理、真空設(shè)備等。2、電子工業(yè)半導(dǎo)體元器件、電子管、電視影像管、電腦監(jiān)視器、X 光管、電子元件、電燈、平面顯示器等。3、光電工業(yè)鐳射、光學(xué)鏡、分光鏡、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡、光電轉(zhuǎn)換器、顯示器、光電...
2024-05-21 60專業(yè)的團(tuán)隊,完善的方案,嚴(yán)格的操作
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